高新區“尖板眼” | 七月投產在即！元臻微電xMR量子材料技術領跑全球

發展新質生產力是創新命題，也是孝感高新區邁入新賽道、搶抓新機遇的核心動力。近年來，高新區聚焦算力和光子等戰略性新興產業和未來產業，大力發展光電子信息和高端裝備制造產業，形成一批“國際領先”“全國首創”“獨一無二”的硬科技。

湖北元臻微電科技有限責任公司（以下簡稱“元臻微電”）就是典型的代表企業之一。

近日，記者走進元臻微電生產車間，技術人員正緊張有序地在已建設完成第一條xMR產線上，對高真空退火爐、磁控濺射等設備進行全流程調試，確保7月初順利生產。

元臻微電年產2萬個xMR量子材料項目，成立于2023年11月，總投資2億元，該企業是全球唯一一家專業提供xMR磁傳感材料和xMR傳感核心的企業。

xMR傳感核心。

“企業主要產品包含晶圓材料、xMR傳感核心及xMR+MEMS懸臂梁結構器件三大類，廣泛應用在智能電網、高端工控、人形機器人、低空經濟、生物傳感器、新型傳感和消費電子等領域。”元臻微電副總經理張鵬介紹，晶圓材料是底層基礎，為xMR傳感核心提供基底支撐，而xMR+MEMS懸臂梁結構器件則通過技術集成實現從核心組件到終端產品的進階，三大類產品呈明確的技術遞進關系，凸顯出企業在半導體傳感領域的全鏈條技術布局能力。

其中，xMR+MEMS懸臂梁結構器件技術是全球唯一且獨有的。

據了解，該企業由理論物理專家、量子傳感專家以及xMR傳感器專家組成的高質量創始團隊，從基礎理論、材料、測試到MEMS加工以及算法封測等形成了一套完整的技術體系。團隊在美國及國內已申請并獲得多項發明專利，覆蓋xMR薄膜材料、核心結構以及制備方法。

“市面上多數企業聚焦于器件應用開發，全球沒有幾家在做材料。”張鵬介紹，我們所做的晶圓材料，是在傳統硅晶圓基底上，鍍制了一層幾十納米厚、具備自旋效應的量子材料薄膜，讓產品具有極高的電磁敏感性，即使外界磁場發生微小變化，也會引發顯著的電阻波動，在性能上遠超同類產品。

張鵬說，以智能電網為例，電流通過導線時會在周圍產生磁場，傳感器可借該材料精準感測電流大小，這對長距離高壓輸電中，幾公里到上百公里級線段的電流及損耗監測至關重要。同時也能用于家庭電表漏電檢測，減少國家電網在電力運輸過程中的損耗。

在生物傳感器方向，相關技術主要用于阿爾茨海默癥（即老年癡呆）的初步篩查，也適用于肺癌腫瘤細胞、乳腺癌篩查以及制藥廠的檢測場景。這種生物傳感器可在社區醫院為老年人提供快速篩查服務，能在半小時內完成檢測且精準度較高，為老年群體的疾病早期篩查提供了便捷的基層醫療解決方案。

“目前，第二條和第三條產線正在規劃建設中。”張鵬說，今后在技術上將圍繞自旋電子學+MEMS技術，加大研發投入，對底層技術不斷迭代，幫助下游企業進行技術升級，產品迭代，形成中國本土化規模化效應。

策劃：左硯文、喇曉光

記者：楊卓玉

通訊員：宋晴

出品：孝感高新區辦公室、荊楚網（湖北日報網）